shinkuu真空鍍膜設(shè)備的原理及特點(diǎn)

本設(shè)備專(zhuān)用于SEM觀(guān)察貴金屬薄膜鍍膜。該設(shè)備進(jìn)行貴金屬涂層以防止 SEM 樣品充電并提高二次電子產(chǎn)生的效率。除了磁控靶電極的低壓放電外，樣品臺(tái)是浮動(dòng)的，以減少電子束流入對(duì)樣品造成的損壞。操作簡(jiǎn)單，只需按下按鈕，沒(méi)有任何技巧。它很小，不占用太多空間。在桌子的一角活躍。

檢測(cè)原理

主要分成蒸發(fā)跟濺射兩種，需要鍍膜的被稱(chēng)為基片跟基材，鍍的材料（金屬材料以金，銀，銅，鋅，鋁等，其中用的最多的是鋁）被稱(chēng)為靶材。基片與靶材同樣在真空腔中。蒸發(fā)鍍膜一般是加熱靶材使表面組分以原子團(tuán)或者原子形式被蒸發(fā)出來(lái)，并且沉降在基材表面，通過(guò)成膜過(guò)程（散點(diǎn)-島狀結(jié)構(gòu)-迷走結(jié)構(gòu)-成狀生長(zhǎng)）形成薄膜。對(duì)于濺射類(lèi)鍍膜，可以簡(jiǎn)單理解為利用電子或高能激光轟擊靶材。并使表面組分以原子團(tuán)或者離子形式被濺射出來(lái)，并且最終濺射在基材表面，經(jīng)過(guò)成膜過(guò)程，最終形成薄膜。

原理示意圖

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使用小目標(biāo)（φ30mm）。實(shí)現(xiàn)低運(yùn)行成本。Au 靶材作為標(biāo)準(zhǔn)配置。展示了其在臺(tái)式掃描電鏡預(yù)處理方面的能力。

可選的靶Ag膜具有優(yōu)異的光澤度，便于光學(xué)顯微鏡觀(guān)察透明材料表面。

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本設(shè)備專(zhuān)用于SEM觀(guān)察貴金屬薄膜鍍膜。該設(shè)備進(jìn)行貴金屬涂層以防止 SEM 樣品充電并提高二次電子產(chǎn)生的效率。除了磁控靶電極的低壓放電外，樣品臺(tái)是浮動(dòng)的，以減少電子束流入對(duì)樣品造成的損壞。操作簡(jiǎn)單，只需按下按鈕，沒(méi)有任何技巧。它很小，不占用太多空間。在桌子的一角活躍。