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技術(shù)文章

什么是超高真空測量單元3B-Gauge?

什么是超高真空測量單元3B-Gauge?

為了準(zhǔn)確測量低于10-9 Pa(高真空)的壓力,需要一種高性能的測量設(shè)備,可以測量比要測量的壓力低幾個數(shù)量級的壓力。 迄今為止市場上的高真空測量裝置的測量極限約為10-10Pa,因此有必要密切關(guān)注剩余電流值。 剩余電流值僅1~2%的變化就可能導(dǎo)致壓力測量誤差在10-9Pa范圍內(nèi)為±10%,在10-10Pa范圍內(nèi)±100%以上。

但是,很難知道大多數(shù)真空設(shè)備在壓力讀數(shù)中存在較大的誤差。 此外,在測量極限附近有兩種類型的誤差:ESD(電子刺激解吸)和除氣,當(dāng)誤差因測量元件靈敏度的變化而波動(軟X射線效應(yīng))和誤差因剩余電流波動而波動時。 一般來說,前者往往具有更大的影響,因此顯示的壓力比實際低-10%或-100%。 由于很難輕易產(chǎn)生超高真空,因此顯示低真空度可能會由于不正確的報告或判斷而導(dǎo)致問題,在某些情況下會導(dǎo)致巨大的損失。

作為此類問題的直接對策,可以通過充分利用電子技術(shù)來糾正剩余電流的校正。 然而,由于X射線限值、ESD離子、釋氣等需要廣泛而詳細的考慮,因此經(jīng)常進行此類校正既耗時又不切實際。 此外,10-9 Pa 或更低的壓力測量需要測量飛安 (fA) 范圍內(nèi)的極小電流,并且必須考慮電子方面的性能。

處理超高真空測量復(fù)雜問題的簡單,有效的方法是使用具有足夠低剩余電流的高性能測量設(shè)備,并且可以通過通用靜電計或現(xiàn)有的真空計控制器進行充分測量。

為了應(yīng)對這種情況,3B-Gauge是一款具有以下革命性性能的新產(chǎn)品,改善了過去30年來超高真空測量中仍然存在的問題。

3B儀表(由VacLab Inc.授權(quán))

3B規(guī)格(彎曲皮帶 - 光束)將離子束從皮帶形狀的圓柱形網(wǎng)格中取出,并在240°彎曲位置捕獲它(右上)。
這是一種新型的測量裝置,通過全面改進熱陰極型電離真空計中存在的“軟X射線",電子沖擊分離(ESD)和“除氣"三個測量極限,可以測量高達3-10 Pa的壓力。
電極嵌入由12.0%鈹銅合金的超低釋氣真空結(jié)構(gòu)制成的扁平法蘭(ICF2)中,以實現(xiàn)低釋氣(左上圖)。



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