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產(chǎn)品資料
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日本shibaura芝浦機電皮拉尼真空計儀表

產(chǎn)品名稱: 日本shibaura芝浦機電皮拉尼真空計儀表
產(chǎn)品型號: GPW
產(chǎn)品特點: 日本shibaura芝浦機電皮拉尼真空計儀表
該產(chǎn)品是一種皮拉尼真空計,可以測量從大氣壓到5 x 10 -2 Pa的很大范圍。
此外,該真空計消除了傳統(tǒng)控制器的操作和顯示,并縮小到小的必要功能,從而實現(xiàn)了“成本降低"和“節(jié)省空間"。

日本shibaura芝浦機電皮拉尼真空計儀表 的詳細介紹

日本shibaura芝浦機電皮拉尼真空計儀表

 

GPW系列的特點

  • 廣域測量:可以從大氣壓到5×10 -2 Pa進行廣域測量
  • 節(jié)省布線:通過集成傳感器和控制器實現(xiàn)節(jié)省布線,節(jié)省空間和節(jié)電。
  • 視野更佳:配備了可以檢查異常的LED
  • 一鍵式調(diào)節(jié):一鍵式大氣壓調(diào)節(jié)和零點調(diào)節(jié)
  • 可維護性:易于更換測針
  • 燈絲材料-鉑(Pt):燈絲材料使用具有優(yōu)異耐腐蝕性的鉑。
  • 測量值輸出信號:壓力為0至10V的對數(shù)輸出是標準設(shè)備
  • 改善的抗沖擊性:具有出色抗沖擊性的設(shè)計結(jié)構(gòu)
  • 控制輸出信號:可以輸出2個設(shè)定點(GPW-1)
  • 串行通訊規(guī)格:可以進行RS-232C / RS-485通訊(僅GPW-2)
  • 符合標準:符合CE標準

  • 用于各種制造設(shè)備(例如太陽能電池,F(xiàn)PD,半導(dǎo)體和電子零件)的低真空區(qū)域中的過程控制
  • 用于各種工業(yè)設(shè)備(例如熔爐)的低真空區(qū)域中的過程控制
  • 用于在具有許多處理腔室的各種制造設(shè)備的低真空區(qū)域中進行過程控制,例如在線型和單晶片型

規(guī)范

模型GPW-1GPW-2
可連接的手寫筆
自適應(yīng)手寫筆SWP-16(NW-16)
測量壓力范圍5.0 x 10 -2至1.0 x 10 5 Pa
測量精度*1×10 -1?1 ××10 4 Pa:±10%
5.0×10 -2?1.0 ×10 -1 Pa,1×10 4 Pa?1×10 5 Pa:±20%
重復(fù)性1×10 -1 Pa?1×10 4 Pa:±2%
采樣時間50毫秒5次移動平均處理
測量值輸出 輸出電壓DC 0-10 V
壓力指示(對數(shù)輸出)1.7 V至8.0 V,1 V /位
更新時間50毫秒
控制輸入??信號集電極開路輸入,負邏輯
ADJ調(diào)整(零點調(diào)整,大氣壓調(diào)整)
---
控制輸出信號集電極開路輸出
負邏輯[額定值:30 VMAX,50 mAMAX,70 mW]
錯誤信號
設(shè)定點1、2
---
監(jiān)控設(shè)定值設(shè)定點1,2:0至10 V日志輸出---
串行通訊規(guī)格---RS232C / RS485
LED顯示屏電源/錯誤:電源,錯誤指示燈
SET-1:設(shè)定點1 LED 
SET-2:設(shè)定點2 LED
---
燈絲材料
工作溫度極限10-40℃
工作濕度范圍15-80%(但是,不結(jié)露)
IP防護等級IP30(傳感器單元)
安裝姿勢沒有限制
電源電壓DC 18 V至30 V,2 W(電源打開時為4.8 W)
輸入/輸出連接器D-sub15針(M2.6螺釘)
大眾150克(含SWP-16)
外形尺寸(電源)W xD x H(mm)70 x 46 x 28
符合標準CE認證

*大氣壓調(diào)整和零點調(diào)整后的精度。

外形尺寸

外形尺寸

單位:mm 
*規(guī)格或建議零售價如有變更,恕不另行通知。

 日本shibaura芝浦機電皮拉尼真空計儀表

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