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膜片干式真空泵：多領域應用案例分析
一、產品概述
ULVAC DA-121D 是一款由日本愛發(fā)科（ULVAC）生產的膜片干式真空泵。該泵通過橡膠膜片的往復運動實現(xiàn)真空排氣，結構簡單，操作方便 。作為標準型干式真空泵，DA-121D 在氣體接觸部位不使用油，因此維護簡單且適用于需要清潔環(huán)境的應用。
二、工作原理
膜片干式真空泵利用橡膠膜片的往復運動來壓縮和排出氣體，從而形成真空環(huán)境。這種設計使得泵在運行過程中無需使用油或其他液體，避免了油蒸氣污染，特別適合對清潔度要求較高的應用。DA-121D 采用兩級排氣系統(tǒng)，能夠實現(xiàn)比單級排氣更低的極限壓力。
三、技術參數(shù)
以下是 ULVAC DA-121D 的主要技術參數(shù)
| 項目 | 單位 | 50Hz | 60Hz |
|---|---|---|---|
| 實際抽速 | L/min | 120 | 145 |
| 極限壓力 | Pa | 3.3×103 | |
| 表壓極限壓力 | kPa | -98 | |
| 電機功率 | W | 400 | |
| 重量 | kg | 26 | |
| 進/排氣口直徑 | mm | O.D.φ16×I.D.φ12 (G 1/2) | |
| 環(huán)境溫度范圍 | ℃ | 0～40 | |
| 尺寸（寬×長×高） | mm | 193.5×411×285 |
四、應用領域
ULVAC DA-121D 適用于多種工業(yè)和實驗室場景，包括但不限于：
- 真空吸盤：用于材料搬運和固定
- 真空鑷子：在醫(yī)療和實驗室中使用
- 半導體檢測設備：用于高精度檢測
- 分析儀器：如質譜儀和光譜儀
- 包裝機械：用于食品和藥品包裝
五、產品特點
- 無油設計：泵體內部不使用油，避免了油污染
- 兩級排氣系統(tǒng)：提供比單級排氣更低的極限壓力
- 內置熱保護器：確保運行安全
- 易于維護：結構簡單，維護成本低
- 大氣壓啟動：可以在大氣壓下直接啟動
六、注意事項
- 避免吸入腐蝕性氣體：如有機溶劑、水蒸氣等
- 防止異物進入：避免灰塵和顆粒進入泵
- 避免長時間在接近大氣壓下運行：可能導致泵過早損壞
- 重新啟動：如果泵在負載運行后停止，需先恢復到大氣壓狀態(tài)
七、總結
ULVAC DA-121D 膜片干式真空泵憑借其無油設計、簡單結構和高效性能，成為工業(yè)和科研領域中理想的真空解決方案。其廣泛的應用領域和易于維護的特點使其在市場上具有較高的性價比
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