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產(chǎn)品資料
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日本motoyama薄膜晶體生產(chǎn)設(shè)備LPE爐

產(chǎn)品名稱: 日本motoyama薄膜晶體生產(chǎn)設(shè)備LPE爐
產(chǎn)品型號:
產(chǎn)品特點(diǎn): 日本motoyama薄膜晶體生產(chǎn)設(shè)備LPE爐
這是一種LPE(液體,相位,外延)薄膜晶體制造設(shè)備,擁有100多項(xiàng)日本交付記錄。 它由高精度立式管式爐,旋轉(zhuǎn)升降驅(qū)動軸和具有*溫度調(diào)節(jié)精度的控制單元組成,可實(shí)現(xiàn)高效的薄膜晶體生產(chǎn)。

日本motoyama薄膜晶體生產(chǎn)設(shè)備LPE爐 的詳細(xì)介紹

日本motoyama薄膜晶體生產(chǎn)設(shè)備LPE爐

日本motoyama薄膜晶體生產(chǎn)設(shè)備LPE爐


■設(shè)備概述
這是一種LPE(液體,相位,外延)薄膜晶體制造設(shè)備,擁有100多項(xiàng)日本交付記錄。 它由高精度立式管式爐,旋轉(zhuǎn)升降驅(qū)動軸和具有*溫度調(diào)節(jié)精度的控制單元組成,可實(shí)現(xiàn)高效的薄膜晶體生產(chǎn)。
薄膜晶體生產(chǎn)
●特長
○優(yōu)異的浸泡特性
○高精度樣品軸旋轉(zhuǎn)升降驅(qū)動機(jī)構(gòu)
○可以添加到現(xiàn)有的熔爐中(有限制)
●選項(xiàng)
○惰性氣體導(dǎo)入機(jī)構(gòu)
○電信號潤濕接點(diǎn)
○排氣罩

○根據(jù)實(shí)際制造過程進(jìn)行計(jì)算機(jī)自動操作控制(也可以中斷手動操作)
通過事先輸入過程詳細(xì)信息,目的地,移動速度,旋轉(zhuǎn)狀態(tài)和旋轉(zhuǎn)速度將自動以值執(zhí)行。

日本motoyama薄膜晶體生產(chǎn)設(shè)備LPE爐

LPE 薄膜結(jié)晶製造裝置 仕様
 ヒータ容量単相 200V 2.3kW×3ゾーン
 加熱室寸法
 徑×高さ mm
φ280×H650 mm
 常用溫度800℃~900℃
 gao溫度1200℃
 溫度分布±2℃ (空爐安定時 φ100×H200mmの空間 at850℃)
 溫度変動幅±0.2℃ (空爐安定時 φ100×H200mmの空間 at850℃) 
 発熱體SSSヒータ
 爐心管φ220×φ205×L800mm
 LPE爐 駆動部(試料軸) 仕様
 昇降速度20~300mm/min
 停止精度 ±1mm以內(nèi)
 回転方法正転/逆転
 回転速度20~300rpm (ソフトスタート付)
 回転數(shù)変動精度±1%FS以內(nèi)



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